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1. 基于第一性原理的
a-Si
:H紅外特性研究
2. 不同雙柵極設(shè)計對
a-Si
:H TFT特性影響
3. 基于溫和等離子體處理的
a-Si
薄膜的鈍化研究
4. 排氣方式及工藝參數(shù)對等離子體刻蝕
a-Si
均一性的影響
5. 新型等離子束源CVD制備
a-Si
:H薄膜特性的研究
6. 非對稱雙柵結(jié)構(gòu)
a-Si
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7.
a-Si
∶H/
a-Si
C∶H多層薄膜的光、電特性研究
8.
a-Si
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9.
a-Si
:H薄膜中Si y H x 結(jié)構(gòu)組態(tài)的原子模擬研究
10. 非晶硅平板探測器(
a-Si
EPID)在放射治療劑量驗證中的應(yīng)用研究
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