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1. 多孔介質(zhì)在PECVD應(yīng)用的仿真研究

2. PECVD沉積硅薄膜退火性質(zhì)的分析

3. 板式pecvd制備氧化鋁工藝研究

4. PECVD法制備石墨烯薄膜及其性能研究

5. PECVD法制備納米多孔SiO_x薄膜

6. GaN納米線的PECVD制備及其性能研究

7. PECVD變結(jié)構(gòu)腔室熱流場(chǎng)耦合規(guī)律研究

8. PECVD法制備氫化非晶硅薄膜及其性能研究

9. PECVD制備摻雜納晶硅薄膜的性能研究

10. PECVD氮化硅薄膜制備工藝及性能測(cè)試研究