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31. RF-PECVD法制備碳納米管的工藝研究
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32. 利用PECVD法制備石墨烯薄膜和修復(fù)RGO薄膜的研究
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33. 微波板式PECVD設(shè)備多晶硅片表面鍍膜均勻性影響因素的研究
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34. 1064nm高反射膜的PECVD法制備及其抗激光損傷性能
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35. 鋯合金包殼管內(nèi)壁SiC涂層的PECVD制備與性能
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36. PECVD法制備摻硼納米金剛石薄膜的工藝研究進(jìn)展
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37. 電極和勻氣盤結(jié)構(gòu)對(duì)PECVD氮化硅薄膜性能的影響
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38. 藍(lán)寶石襯底上PECVD生長(zhǎng)石墨烯及其氣敏傳感器
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39. PECVD法制備摻磷非晶硅薄膜及其結(jié)構(gòu)和性能的研究
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40. 氫對(duì)PECVD法制備硅基薄膜沉積速率、膜結(jié)構(gòu)及性能的影響
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