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藍(lán)寶石襯底上PECVD生長(zhǎng)石墨烯及其氣敏傳感器

發(fā)布時(shí)間:2018-03-05 15:47

  本文選題:石墨烯 切入點(diǎn):吸附 出處:《化工學(xué)報(bào)》2017年11期  論文類型:期刊論文


【摘要】:在藍(lán)寶石襯底上,利用PECVD在相對(duì)較低的溫度和相對(duì)短的時(shí)間制備石墨烯。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),在950℃,生長(zhǎng)15 min,可制備納米晶石墨烯。所制備的石墨烯為雙層結(jié)構(gòu),存在較多的缺陷,使得其適合用于制作氣敏傳感器。制作的納米晶石墨烯氣敏傳感器對(duì)甲醛氣體顯示出良好的響應(yīng)和恢復(fù)特性。分析發(fā)現(xiàn)納米晶石墨烯中大量的晶界和褶皺使氣體的吸附和解吸附能壘降低是其表現(xiàn)出良好氣敏特性的主要原因。
[Abstract]:Nanocrystalline graphene was prepared on sapphire substrate by PECVD at relatively low temperature and relatively short time. It was found that nanocrystalline graphene could be prepared at 950 鈩,

本文編號(hào):1570885

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