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161. 多MEMS陀螺數(shù)據(jù)融合系統(tǒng)的設計和實現(xiàn)
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162. 基于MEMS的數(shù)字地震檢波器的研究
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163. 基于MEMS技術的宏孔導電網(wǎng)絡工藝
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164. MEMS振動傳感器自檢測技術研究
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165. 基于FPGA的MEMS捷聯(lián)慣性導航系統(tǒng)設計
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166. 溫度約束的MEMS陀螺零漂補償模型
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167. 壓電式MEMS傳感器的穩(wěn)健設計研究
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168. 基于MEMS的消防單兵室內(nèi)定位研究與設計
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169. 硅腔體MEMS環(huán)行器的設計與制作
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170. MEMS紅外光源光譜特性及溫度特性測試研究
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