本文選題：MEMS紅外光源 + 輻射光譜�。� 參考：《紅外技術》2017年03期

【摘要】：MEMS紅外光源是基于微機電系統(tǒng)(MEMS)制造工藝的紅外光源器件,為明確MEMS紅外光源的輻射光譜分布特性和溫度特性,采用SR5000光譜輻射計對MEMS紅外光源進行輻射光譜分布特性測試,所得數(shù)據(jù)表明所選光源的紅外光譜分布主要在3~5μm之間,中心波長位于3.6μm,該波段紅外光具有接近90%的大氣透過率;采用紅外測溫儀和熱敏電阻對光源輻射體溫度進行測試,結(jié)果顯示所選MEMS紅外光源溫度特性優(yōu)良,適用范圍廣泛。
[Abstract]:MEMS infrared light source is an infrared light source device based on MEMS manufacturing technology. In order to determine the radiation spectrum distribution and temperature characteristics of MEMS infrared light source, SR5000 spectrometer is used to test the radiation spectrum distribution characteristics of MEMS infrared light source. The data show that the infrared spectrum of the selected light source is mainly between 3 渭 m and 5 渭 m, and the center wavelength is 3.6 渭 m. The infrared light of this band has an atmospheric transmittance of nearly 90%. The infrared thermometer and thermistor are used to measure the temperature of the radiator of the light source. The results show that the selected MEMS infrared light source has good temperature characteristics and wide range of application.
【作者單位】： 中北大學電子測試技術重點實驗室;中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金項目(51275492) 中國博士后科學基金(2013T60557,2012T52118) 江蘇省博士后科研計劃項目(1201038C)
【分類號】：TH-39;TN21

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本文編號：1865579