本文選題：MEMS紅外光源 + 輻射光譜��； 參考：《紅外技術(shù)》2017年03期

【摘要】：MEMS紅外光源是基于微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)制造工藝的紅外光源器件,為明確MEMS紅外光源的輻射光譜分布特性和溫度特性,采用SR5000光譜輻射計(jì)對(duì)MEMS紅外光源進(jìn)行輻射光譜分布特性測(cè)試,所得數(shù)據(jù)表明所選光源的紅外光譜分布主要在3~5μm之間,中心波長(zhǎng)位于3.6μm,該波段紅外光具有接近90%的大氣透過(guò)率;采用紅外測(cè)溫儀和熱敏電阻對(duì)光源輻射體溫度進(jìn)行測(cè)試,結(jié)果顯示所選MEMS紅外光源溫度特性優(yōu)良,適用范圍廣泛。
[Abstract]:MEMS infrared light source is an infrared light source device based on MEMS manufacturing technology. In order to determine the radiation spectrum distribution and temperature characteristics of MEMS infrared light source, SR5000 spectrometer is used to test the radiation spectrum distribution characteristics of MEMS infrared light source. The data show that the infrared spectrum of the selected light source is mainly between 3 渭 m and 5 渭 m, and the center wavelength is 3.6 渭 m. The infrared light of this band has an atmospheric transmittance of nearly 90%. The infrared thermometer and thermistor are used to measure the temperature of the radiator of the light source. The results show that the selected MEMS infrared light source has good temperature characteristics and wide range of application.
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51275492) 中國(guó)博士后科學(xué)基金(2013T60557,2012T52118) 江蘇省博士后科研計(jì)劃項(xiàng)目(1201038C)
【分類(lèi)號(hào)】：TH-39;TN21

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本文編號(hào)：1865579