本文關(guān)鍵詞： 微機電系統(tǒng)(MEMS) 宏多孔硅(MPS) 宏孔導電網(wǎng)絡(luò)(MECN) 化學鍍鎳 液流沉積　出處：《微納電子技術(shù)》2016年05期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：宏多孔硅基于MEMS技術(shù),通過清洗、氧化、光刻和濕法刻蝕等工藝流程制備,其大比表面積的多孔三維結(jié)構(gòu)可作為很好的骨架結(jié)構(gòu)。以宏多孔硅為基底,在其表面以及通道內(nèi)沉積集流層,制備的宏孔導電網(wǎng)絡(luò)可作為微型儲能器件電極的襯底。實驗改進了傳統(tǒng)浸泡的沉積方法,使其優(yōu)化為液流沉積,顯著改善了集流層沉積不均勻現(xiàn)象。改善后的宏孔導電網(wǎng)絡(luò)集流層均勻性良好,在作為儲能器件的襯底時,可以更好地沉積活性物質(zhì),增強其黏附性、擴大儲能器件的容量,并在后續(xù)儲能器件的循環(huán)測試中起到大幅度提高穩(wěn)定性的作用。
[Abstract]:Based on MEMS technology, macroporous silicon is prepared by cleaning, oxidation, lithography and wet etching. The porous three-dimensional structure with large specific surface area can be used as a good skeleton structure. The macroporous conductive network can be used as the substrate of the electrode of the micro energy storage device by depositing the collecting layer on the surface and in the channel. The traditional immersion deposition method is improved experimentally to optimize the deposition for liquid flow. The uneven deposition of the collecting layer is significantly improved. The improved mesopore conductive network has good uniformity of the collecting layer. As the substrate of the energy storage device, it can better deposit the active material, enhance its adhesion, and expand the capacity of the energy storage device. And in the follow-up energy storage device cycle test plays a significant role in improving the stability.
【作者單位】： 華東師范大學極化材料與器件教育部重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(61176108)
【分類號】：TH-39;TB383.4

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本文編號：1515827