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671. 基于LIGA-like工藝的柔性MEMS微電極加工技術(shù)研究
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672. 基于MS-IMMIKF的MEMS陀螺輸出信號消噪處理
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673. 基于八懸臂梁-中心質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)MEMS壓電振動能量采集器
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674. 旋轉(zhuǎn)調(diào)制技術(shù)在MEMS捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)中的應(yīng)用與改進(jìn)
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675. 基于小波包-神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的MEMS加速度計零漂補(bǔ)償
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676. 基于MEMS微鏡的光柵波導(dǎo)角度調(diào)制生物傳感器設(shè)計與研究
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677. 高量程MEMS加速度計的熱應(yīng)力仿真與可靠性評估
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678. 基于MEMS陀螺儀的尋北定向關(guān)鍵技術(shù)研究及其系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)
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679. 基于MEMS技術(shù)硅磁敏三極管差分結(jié)構(gòu)制作及特性研究
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680. MEMS地震檢波器中抽取濾波器的設(shè)計與FPGA實(shí)現(xiàn)
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