本文關(guān)鍵詞：基于八懸臂梁-中心質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)MEMS壓電振動(dòng)能量采集器

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【摘要】：高能量密度輸出、低頻范圍響應(yīng)、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)的自供電振動(dòng)能量采集器已成為微能源技術(shù)領(lǐng)域的一個(gè)重要發(fā)展方向。提出一種d31型工作模式下MEMS壓電式振動(dòng)能量采集器,設(shè)計(jì)八懸臂梁-中心質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的單懸臂梁結(jié)構(gòu),利用溶膠-凝膠(Sol-Gel)技術(shù)在每個(gè)懸臂梁上異質(zhì)集成制備鋯鈦酸鉛(Pb(Zr_(0.53)Ti_(0.47)O_3,PZT)壓電功能厚膜層,通過(guò)MEMS工藝和引線鍵合技術(shù)完成器件礎(chǔ)結(jié)構(gòu)制造。輸出性能測(cè)試結(jié)果表明,器件一階諧振頻率為41 Hz,3 gn加速度激勵(lì)下輸出電壓峰峰值為264.00 m V;在器件兩端加載3.00 MΩ負(fù)載時(shí)輸出功率最大,為0.72 n W。
【作者單位】： 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)計(jì)算機(jī)與控制工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： MEMS 壓電 微加工 能量采集 輸出功率
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51422510;51175483;61401406) 國(guó)家863計(jì)劃項(xiàng)目(2015AA042601)
【分類號(hào)】：TM619
【正文快照】： 隨著微電子技術(shù)的日趨發(fā)展和成熟,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)、無(wú)線傳感系統(tǒng)、嵌入式系統(tǒng)、無(wú)線通訊等技術(shù)在民用和軍事方面得到了廣泛應(yīng)用[1]。這些系統(tǒng)中電子元件數(shù)量眾多、分布復(fù)雜,對(duì)其更換供能電池很不方便,且成本較高。因此,研制一種體積小、壽命長(zhǎng)、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、能量密度和轉(zhuǎn)

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

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6 趙志剛;丁旭升;劉福貴;楊茁萌;;微型電磁式振動(dòng)能量采集器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與仿真研究[J];電工技術(shù)學(xué)報(bào);2012年08期

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中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

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3 曾國(guó)華;孔建益;李公法;楊金堂;蔣國(guó)璋;熊禾根;;充液管道系統(tǒng)振動(dòng)能量流研究[A];12省區(qū)市機(jī)械工程學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)年會(huì)湖北省論文集[C];2006年

4 李公法;孔建益;幸福堂;王興東;劉懷廣;劉源l，

本文編號(hào)：1077085