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531. MEMS壓電—磁電復(fù)合式微能源器件優(yōu)化設(shè)計(jì)制造及其性能研究
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532. MEMS傳感器結(jié)合激光測(cè)距在汽車(chē)物聯(lián)網(wǎng)中應(yīng)用研究
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533. 低成本MEMS慣性測(cè)量組件復(fù)合標(biāo)定與誤差補(bǔ)償方法研究
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534. 一種新型RF-MEMS微天線(xiàn)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)
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535. 面向非硅MEMS的桌面微裝配系統(tǒng)模塊化設(shè)計(jì)方法
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536. MEMS加速度傳感器測(cè)試平臺(tái)控制系統(tǒng)的研制
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537. 基于MEMS傳感器的虛擬現(xiàn)實(shí)射擊識(shí)別設(shè)備與系統(tǒng)
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538. 一種硅基MEMS微波SIR交指帶通濾波器
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539. 基于洛倫茲力的MEMS磁傳感器的研究進(jìn)展
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540. 基于洛倫茲力的MEMS磁傳感器的研究進(jìn)展
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