本文選題：MEMS磁傳感器 + 器件設(shè)計(jì)與制作��； 參考：《儀表技術(shù)與傳感器》2017年11期

【摘要】：文中對(duì)制作MEMS磁傳感器過程中涉及的主要設(shè)計(jì)參數(shù)、器件的制備工藝進(jìn)行了介紹,綜述了基于洛倫茲力的各種結(jié)構(gòu)MEMS磁傳感器的靈敏度、品質(zhì)因子、噪聲和探測(cè)極限等特性,并對(duì)其未來發(fā)展進(jìn)行了展望。
[Abstract]:The main design parameters and fabrication process of MEMS magnetic sensors are introduced in this paper. The sensitivity, quality factor, noise and detection limit of MEMS magnetic sensors with various structures based on Lorentz force are summarized. The future development is also prospected.
【作者單位】： 長(zhǎng)春理工大學(xué)光電信息學(xué)院;集成光電子學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室吉林大學(xué)電子科學(xué)與工程學(xué)院;中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十九研究所;
【分類號(hào)】：TP212

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本文編號(hào)：1983588