本文選題：帶通濾波器 + 交指濾波器��； 參考：《微電子學(xué)》2017年01期

【摘要】：基于7階SIR交指結(jié)構(gòu)濾波器,提出了一種基于硅MEMS技術(shù)的微波S波段交指帶通濾波器。不僅保留了交指結(jié)構(gòu)的高通帶選擇性,而且可以通過調(diào)整SIR的阻抗比和電長度比來實現(xiàn)寬阻帶。采用MEMS工藝,在雙層高電阻率的硅片上完成了濾波器的制作和自封裝,它具有體積小、損耗低的優(yōu)點。仿真結(jié)果表明,該濾波器在中心頻率2.35GHz處的相對帶寬為30%,帶內(nèi)插損小于1.5dB,回波損耗大于15dB,在頻率f_0±0.8GHz處的阻帶抑制比大于50dB。該交指帶通濾波器的體積僅為(11×7×0.8)mm~3。
[Abstract]:Based on the 7-order SIR InterDigital filter, a microwave S-band cross-finger band-pass filter based on silicon MEMS technique is proposed. Not only the high pass band selectivity of the interDigital structure is retained, but also the wide stopband can be realized by adjusting the impedance ratio and the electric length ratio of the SIR. The filter is fabricated and self-encapsulated on a double-layer high resistivity silicon wafer by MEMS process. It has the advantages of small size and low loss. The simulation results show that the filter has a relative bandwidth of 30dB at the center frequency 2.35GHz, a band insertion loss of less than 1.5dB, an echo loss of more than 15dB, and a stopband suppression ratio of more than 50dB at the frequency f0 鹵0.8GHz. The volume of the interDigital band-pass filter is only 11 脳 7 脳 0.8 mm / m ~ 3.
【作者單位】： 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點實驗室;中國科學(xué)院微電子研究所智能感知研發(fā)中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(61274119)
【分類號】：TN713.5

【參考文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：1931561