本文選題：MEMS磁傳感器 + 器件設(shè)計與制作　； 參考：《儀表技術(shù)與傳感器》2017年11期

【摘要】：文中對制作MEMS磁傳感器過程中涉及的主要設(shè)計參數(shù)、器件的制備工藝進行了介紹,綜述了基于洛倫茲力的各種結(jié)構(gòu)MEMS磁傳感器的靈敏度、品質(zhì)因子、噪聲和探測極限等特性,并對其未來發(fā)展進行了展望。
[Abstract]:The main design parameters and fabrication process of MEMS magnetic sensor are introduced in this paper. The characteristics of sensitivity, quality factor, noise and detection limit of various MEMS magnetic sensors based on Lorentz force are summarized. The future development is also prospected.
【作者單位】： 長春理工大學光電信息學院;集成光電子學國家重點實驗室吉林大學電子科學與工程學院;中國電子科技集團公司第四十九研究所;
【分類號】：TP212

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本文編號：1983587