本文選題：射頻識別(RFID) + 微機電系統(tǒng)(MEMS)　； 參考：《磁性材料及器件》2014年06期

【摘要】：針對13.56MHz RFID系統(tǒng)大面積平面螺旋線圈天線存在的缺陷,提出了一種用于13.56MHz頻段的新型RF-MEMS微天線,并使用HFSS軟件進行了仿真和設(shè)計,同時采用MEMS工藝實現(xiàn)器件制作。該微天線由螺線管線圈及高性能鐵氧體薄膜組成,總體尺寸小于10mm×6.7mm×0.46mm。該微天線靈敏度達到了36.2m V/μT,使用電感值為1.6μH的讀卡器線圈與匹配諧振后的微天線進行耦合,在6mm處該微天線的諧振電壓達到7.1V,同時將集成了標簽芯片及諧振電容的微天線與符合ISO14443標準的讀卡器進行通信,其通信距離達到12mm。
[Abstract]:Aiming at the defects of large area planar helical coil antenna in 13.56MHz RFID system, a novel RF-MEMS microantenna for 13.56MHz frequency band is proposed. The simulation and design are carried out with HFSS software, and the device is fabricated by MEMS process.The microantenna consists of solenoid coil and high performance ferrite film. The overall size of the microantenna is smaller than 10mm 脳 6.7mm 脳 0.46mm.The sensitivity of the microantenna is 36.2m V / 渭 T, and the card reader coil with 1.6 渭 H inductance is coupled with the matched resonant microantenna.The resonant voltage of the microantenna at the 6mm reaches 7.1 V. at the same time, the microantenna which integrates the tag chip and the resonant capacitor can communicate with the card reader in accordance with the ISO14443 standard, and the communication distance is up to 12mm.
【作者單位】： 清華大學(xué)微電子學(xué)研究所;
【分類號】：TN822;TP391.44

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本文編號：1735396