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481. 基于MEMS-IMU的室內(nèi)定位與導航算法研究
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482. 97單元MEMS變形鏡波前像差擬合能力分析
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483. 低噪聲MEMS麥克風接口電路的設計與實現(xiàn)
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484. 低噪聲MEMS麥克風接口電路的設計與實現(xiàn)
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485. 基于地磁/低成本MEMS慣性器件復合姿態(tài)測量方法研究
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486. MEMS半球諧振陀螺儀三維對稱諧振子工藝研究
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487. 基于互補濾波器的MEMS/GPS/地磁組合導航系統(tǒng)
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488. MEMS-INS/GPS雙星組合定位方法研究
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489. MEMS加速度傳感器及其調(diào)理電路測試技術研究
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490. 基于有限元方法的MEMS器件封裝可靠性研究
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