變形鏡是自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的關(guān)鍵元件,它對(duì)波前像差的擬合能力決定了自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)的校正性能。文中從變形鏡對(duì)Zernike單階像差、組合像差以及閉環(huán)校正三個(gè)方面分析97單元變形鏡的擬合能力。仿真結(jié)果表明,當(dāng)原始波前均方根的值為一個(gè)波長(zhǎng)時(shí),Zernike多項(xiàng)式前3～42階殘余波前像差的RMS小于0.4λ,說明變形鏡對(duì)Zernike的前3～42階像差具有較好的擬合能力。變形鏡對(duì)Zernike多項(xiàng)式組合相差擬合以及基于隨機(jī)并行梯度下降算法的閉環(huán)校正結(jié)果表明,當(dāng)波前像差較小時(shí),像差基本得到完全擬合及校正,當(dāng)波前像差較大時(shí),如D/r₀=20時(shí),殘余波前像差的RMS值均小于0.14λ（初始RMS為0.63λ）。分析結(jié)果對(duì)97單元變形鏡的實(shí)際應(yīng)用提供了理論依據(jù)和使用參考。 

【文章來源】：光學(xué)技術(shù). 2020,46(01)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 97單元MEMS變形鏡建模及影響函數(shù)測(cè)量
2 97單元MEMS變形鏡校正能力分析
    2.1 變形鏡對(duì)Zernike多項(xiàng)式單階像差的擬合能力分析
    2.2 變形鏡對(duì)Zernike多項(xiàng)式組合像差的擬合能力分析
    2.3 97單元MEMS變形鏡在閉環(huán)系統(tǒng)中的校正能力分析
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3303039