變形鏡是自適應光學系統(tǒng)的關鍵元件,它對波前像差的擬合能力決定了自適應光學系統(tǒng)的校正性能。文中從變形鏡對Zernike單階像差、組合像差以及閉環(huán)校正三個方面分析97單元變形鏡的擬合能力。仿真結果表明,當原始波前均方根的值為一個波長時,Zernike多項式前3～42階殘余波前像差的RMS小于0.4λ,說明變形鏡對Zernike的前3～42階像差具有較好的擬合能力。變形鏡對Zernike多項式組合相差擬合以及基于隨機并行梯度下降算法的閉環(huán)校正結果表明,當波前像差較小時,像差基本得到完全擬合及校正,當波前像差較大時,如D/r₀=20時,殘余波前像差的RMS值均小于0.14λ（初始RMS為0.63λ）。分析結果對97單元變形鏡的實際應用提供了理論依據(jù)和使用參考。 

【文章來源】：光學技術. 2020,46(01)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 97單元MEMS變形鏡建模及影響函數(shù)測量
2 97單元MEMS變形鏡校正能力分析
    2.1 變形鏡對Zernike多項式單階像差的擬合能力分析
    2.2 變形鏡對Zernike多項式組合像差的擬合能力分析
    2.3 97單元MEMS變形鏡在閉環(huán)系統(tǒng)中的校正能力分析
3 結論


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3303039