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451. MEMS片上絕緣性能測(cè)試高阻標(biāo)準(zhǔn)件研制
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452. 硅基共面波導(dǎo)RF MEMS開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì)關(guān)鍵技術(shù)研究
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453. 基于MEMS慣性測(cè)量單元的多源信息自適應(yīng)步數(shù)檢測(cè)方法
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454. 基于MEMS傳感器的高精度行人導(dǎo)航算法研究
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455. MEMS諧振式壓力傳感器諧振器設(shè)計(jì)與分析
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456. 基于MEMS技術(shù)的植入式柔性多觸點(diǎn)平面電極陣列
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457. 一維MEMS矢量水聽(tīng)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與工藝制備
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458. 基于MEMS傳感器的道面坡度提取技術(shù)研究
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459. 基于MEMS技術(shù)低交叉干擾空間磁矢量傳感器研究
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460. MEMS風(fēng)速敏感裝置在高速飛行體上的應(yīng)用
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