【摘要】：為提高植入式電極陣列的分辨率,降低生物組織損傷,保證其在生物體內(nèi)穩(wěn)定工作,本文提出了一種基于聚對(duì)二甲苯(Parylene C)的柔性多觸點(diǎn)平面電極陣列.該電極為Parylene C/Au/Parylene C 3層結(jié)構(gòu),共24個(gè)通道.電極采用標(biāo)準(zhǔn)MEMS工藝加工,觸點(diǎn)分布精確,輪廓清晰,表面平整,粗糙度為23.8 nm.為評(píng)估電極的工作性能,采用磷酸緩沖液(PBS溶液)模擬生物組織液,對(duì)電極陣列進(jìn)行了電化學(xué)阻抗測(cè)試及循環(huán)伏安測(cè)試.測(cè)試表明,電極在100 Hz與1 000 Hz的阻抗值約為400 kΩ與50 kΩ,滿(mǎn)足記錄電極對(duì)阻抗的要求,同時(shí),不同通道之間具有良好的一致性.此外,對(duì)隨機(jī)選取的一個(gè)通道進(jìn)行的循環(huán)伏安法測(cè)試表明,電極在刺激模式下具有良好的可逆性,對(duì)組織無(wú)影響,該通道的電荷儲(chǔ)存能力約為650μC/cm2,與文獻(xiàn)報(bào)道電極相當(dāng).
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本文編號(hào)：2566978