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231. 基于MEMS機(jī)構(gòu)裝配的微夾持器研究
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232. MEMS數(shù)字傾角儀的標(biāo)定補(bǔ)償方法研究
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233. 多準(zhǔn)則MEMS陀螺隨機(jī)誤差在線建模與實(shí)時濾波
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234. MEMS傳感器三維引線鍵合系統(tǒng)研制
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235. MEMS懸浮結(jié)構(gòu)深反應(yīng)離子刻蝕保護(hù)方法對比研究
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236. 激光點(diǎn)火系統(tǒng)用MEMS光開關(guān)研究與設(shè)計(jì)
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237. MEMS數(shù)字麥克風(fēng)信號處理電路的設(shè)計(jì)
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238. 基于MEMS技術(shù)的非接觸式人體靜電測量裝置
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239. 基于MEMS傳感融合技術(shù)的內(nèi)鏡跟蹤定位系統(tǒng)研究
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240. 集成高輻射率納米結(jié)構(gòu)的MEMS紅外光源研究
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