本文關(guān)鍵詞：基于MEMS技術(shù)的非接觸式人體靜電測量裝置

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【摘要】：為解決傳統(tǒng)非接觸式靜電儀工作時振動或旋轉(zhuǎn)部件裸露在外,無法在靜電高危區(qū)域使用,難以測量運(yùn)動人體帶電情況等難題,該文研制出基于MEMS電場傳感器的非接觸式靜電測量裝置。提出一種新型檢測電極與敏感芯片相連結(jié)構(gòu),顯著增大了電場感應(yīng)面積,增強(qiáng)了靈敏度。設(shè)計11個檢測電極分布式布置形成門體結(jié)構(gòu),成功實現(xiàn)人體頭、肩、臂、手、腿、腳部位在運(yùn)動過程中帶電情況的同時測量�；诮饘俜抡鎺щ娙梭w,提出模擬應(yīng)用現(xiàn)場的標(biāo)定方法,準(zhǔn)確實現(xiàn)了靜電安檢門的標(biāo)定。該靜電測量裝置具有無裸露可動部件、安全性高、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等突出優(yōu)點(diǎn),滿足粉塵濃度高、易燃油氣濃度高等惡劣環(huán)境下的使用需求。試驗結(jié)果表明,該裝置測量范圍為-30~30k V,分辨力優(yōu)于50 V,總不確定度優(yōu)于3%。
【作者單位】： 中國科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實驗室;北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61302032,61327810)~~
【分類號】：O441.5;TP212
【正文快照】： (2)(北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司北京100084)靜電是引起油氣火災(zāi)、軍用電子元件失效等重大事故的關(guān)鍵因素之一。靜電監(jiān)測在航天、石油石化、工業(yè)生產(chǎn)、氣象、集成電路等多個領(lǐng)域具有重要意義。在航天領(lǐng)域,靜電放電容易造成電子元器件內(nèi)部損傷[1,2],也可能引燃推進(jìn)燃料或

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

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【共引文獻(xiàn)】

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3 張婷婷;李義鵬;;自助加油站的靜電風(fēng)險及防范措施[J];安全、健康和環(huán)境;2017年04期

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6 李義鵬;劉全楨;孫立富;孟鶴;;加油站邊卸油邊加油過程中的靜電風(fēng)險[J];安全、健康和環(huán)境;2016年02期

7 李亮亮;孫立富;劉全楨;李義鵬;張云朋;修德欣;;加油站油流靜電在線監(jiān)測技術(shù)及應(yīng)用[J];中國安全生產(chǎn)科學(xué)技術(shù);2016年01期

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9 周本謀;范寶春;;靜電放電火花點(diǎn)燃危險性分級方法研究[J];北京理工大學(xué)學(xué)報;2005年S1期

10 周本謀,范寶春,劉尚合;靜電放電火花點(diǎn)燃特性與危險性分級方法[J];南京理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2005年04期

【二級參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙穎;劉松U，

本文編號：1253379