本文關(guān)鍵詞：基于MEMS技術(shù)的非接觸式人體靜電測(cè)量裝置

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【摘要】：為解決傳統(tǒng)非接觸式靜電儀工作時(shí)振動(dòng)或旋轉(zhuǎn)部件裸露在外,無法在靜電高危區(qū)域使用,難以測(cè)量運(yùn)動(dòng)人體帶電情況等難題,該文研制出基于MEMS電場(chǎng)傳感器的非接觸式靜電測(cè)量裝置。提出一種新型檢測(cè)電極與敏感芯片相連結(jié)構(gòu),顯著增大了電場(chǎng)感應(yīng)面積,增強(qiáng)了靈敏度。設(shè)計(jì)11個(gè)檢測(cè)電極分布式布置形成門體結(jié)構(gòu),成功實(shí)現(xiàn)人體頭、肩、臂、手、腿、腳部位在運(yùn)動(dòng)過程中帶電情況的同時(shí)測(cè)量。基于金屬仿真帶電人體,提出模擬應(yīng)用現(xiàn)場(chǎng)的標(biāo)定方法,準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)了靜電安檢門的標(biāo)定。該靜電測(cè)量裝置具有無裸露可動(dòng)部件、安全性高、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)等突出優(yōu)點(diǎn),滿足粉塵濃度高、易燃油氣濃度高等惡劣環(huán)境下的使用需求。試驗(yàn)結(jié)果表明,該裝置測(cè)量范圍為-30~30k V,分辨力優(yōu)于50 V,總不確定度優(yōu)于3%。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所傳感技術(shù)聯(lián)合國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61302032,61327810)~~
【分類號(hào)】：O441.5;TP212
【正文快照】： (2)(北京中科飛龍傳感技術(shù)有限責(zé)任公司北京100084)靜電是引起油氣火災(zāi)、軍用電子元件失效等重大事故的關(guān)鍵因素之一。靜電監(jiān)測(cè)在航天、石油石化、工業(yè)生產(chǎn)、氣象、集成電路等多個(gè)領(lǐng)域具有重要意義。在航天領(lǐng)域,靜電放電容易造成電子元器件內(nèi)部損傷[1,2],也可能引燃推進(jìn)燃料或

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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7 李亮亮;孫立富;劉全楨;李義鵬;張?jiān)婆?修德欣;;加油站油流靜電在線監(jiān)測(cè)技術(shù)及應(yīng)用[J];中國(guó)安全生產(chǎn)科學(xué)技術(shù);2016年01期

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10 周本謀,范寶春,劉尚合;靜電放電火花點(diǎn)燃特性與危險(xiǎn)性分級(jí)方法[J];南京理工大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2005年04期

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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1 趙穎;劉松U，

本文編號(hào)：1253379