MEMS數(shù)字傾角儀的標(biāo)定補(bǔ)償方法研究
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更多相關(guān)文章: 傾角儀 MEMS加速度計(jì) 系統(tǒng)標(biāo)定 誤差補(bǔ)償
【摘要】:在介紹MEMS數(shù)字傾角儀組成結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,根據(jù)數(shù)字傾角儀內(nèi)部MEMS加速度計(jì)的輸出特性,對(duì)MEMS加速度計(jì)的敏感單元建立數(shù)學(xué)標(biāo)定模型,提出并推導(dǎo)了一種適用于MEMS數(shù)字傾角儀的標(biāo)定方法;該方法可以得到雙軸MEMS數(shù)字傾角儀中加速度計(jì)的零位電壓、標(biāo)度因數(shù)矩陣、安裝誤差系數(shù)等敏感項(xiàng)參數(shù);通過重力場(chǎng)靜態(tài)翻轉(zhuǎn)實(shí)驗(yàn)對(duì)實(shí)驗(yàn)室研制的數(shù)字傾角儀進(jìn)行標(biāo)定;最后使用MATLAB擬合計(jì)算得到所求標(biāo)定參數(shù),并對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行了誤差分析和補(bǔ)償對(duì)比;實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該方法能使MEMS數(shù)字傾角儀的測(cè)量精度提高到±0.05°,可以滿足高精度的角度測(cè)量需求。
【作者單位】: 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測(cè)試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】: 傾角儀 MEMS加速度計(jì) 系統(tǒng)標(biāo)定 誤差補(bǔ)償
【基金】:國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51575500)
【分類號(hào)】:TH824.4
【正文快照】: MEMS數(shù)字傾角儀內(nèi)部的核心敏感單元主要為MEMS加速度計(jì)。當(dāng)加計(jì)敏感軸與水平面存在一定角度時(shí),利用其輸出加速度值與重力加速度分量的數(shù)學(xué)關(guān)系,實(shí)現(xiàn)對(duì)底面與水平面之間夾角的測(cè)量。數(shù)字傾角儀具有體積小、精度高、能耗低等優(yōu)點(diǎn),其在建筑、機(jī)械加工、路面狀況監(jiān)測(cè)等工程領(lǐng)域中
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,本文編號(hào):1013286
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