本文關(guān)鍵詞：基于MEMS機(jī)構(gòu)裝配的微夾持器研究

  更多相關(guān)文章： 微機(jī)電系統(tǒng) 微裝配 微夾持器 壓電陶瓷 柔性鉸鏈 非線性回歸

【摘要】：微夾持器作為末端執(zhí)行裝置,直接決定了微裝配的效率。MEMS機(jī)構(gòu)中包含許多微小的活動部件和功能元件,為實現(xiàn)這些微小器件的穩(wěn)定夾取和自動裝配,設(shè)計了一種采用壓電陶瓷驅(qū)動、基于柔性鉸鏈的二級放大微夾持器結(jié)構(gòu)。對該微夾持器的節(jié)點應(yīng)力、剛度及最大張合量等進(jìn)行了分析計算,并對微夾持器進(jìn)行了試制。實驗與分析結(jié)果表明,該夾持器最大張合量是245μm,放大倍數(shù)約為12.3倍,滿足MEMS機(jī)構(gòu)的裝配要求。在此基礎(chǔ)上,重點對張合量與夾持力進(jìn)行了系統(tǒng)測試,通過對測試數(shù)據(jù)的非線性回歸,推導(dǎo)出99.99%可靠度的驅(qū)動電壓計算公式,實現(xiàn)了微夾持的精確控制。
【作者單位】： 沈陽理工大學(xué)遼寧省先進(jìn)制造與裝備重點實驗室;中國空空導(dǎo)彈研究院;
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)電系統(tǒng) 微裝配 微夾持器 壓電陶瓷 柔性鉸鏈 非線性回歸
【基金】：國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(863計劃)資助項目(2009AA04Z167) 遼寧省自然科學(xué)基金資助項目(201102182)
【分類號】：TH-39;TG95
【正文快照】： 0引言在MEMS機(jī)構(gòu)微裝配系統(tǒng)中,微夾持器是實現(xiàn)亞毫米級微小構(gòu)件穩(wěn)定夾取及可靠釋放等操作的關(guān)鍵部件,對實現(xiàn)自動化的微裝配具有重要作用。目前已有學(xué)者進(jìn)行了微夾持器結(jié)構(gòu)與驅(qū)動方法的研究。如:利用兩個壓電單晶片懸臂梁組成的微夾持器[1];基于電磁力驅(qū)動的微夾持器[2];由SMA

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本文編號：989007