本文關(guān)鍵詞：基于MEMS機(jī)構(gòu)裝配的微夾持器研究

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【摘要】：微夾持器作為末端執(zhí)行裝置,直接決定了微裝配的效率。MEMS機(jī)構(gòu)中包含許多微小的活動(dòng)部件和功能元件,為實(shí)現(xiàn)這些微小器件的穩(wěn)定夾取和自動(dòng)裝配,設(shè)計(jì)了一種采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)、基于柔性鉸鏈的二級(jí)放大微夾持器結(jié)構(gòu)。對(duì)該微夾持器的節(jié)點(diǎn)應(yīng)力、剛度及最大張合量等進(jìn)行了分析計(jì)算,并對(duì)微夾持器進(jìn)行了試制。實(shí)驗(yàn)與分析結(jié)果表明,該夾持器最大張合量是245μm,放大倍數(shù)約為12.3倍,滿足MEMS機(jī)構(gòu)的裝配要求。在此基礎(chǔ)上,重點(diǎn)對(duì)張合量與夾持力進(jìn)行了系統(tǒng)測(cè)試,通過對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)的非線性回歸,推導(dǎo)出99.99%可靠度的驅(qū)動(dòng)電壓計(jì)算公式,實(shí)現(xiàn)了微夾持的精確控制。
【作者單位】： 沈陽理工大學(xué)遼寧省先進(jìn)制造與裝備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)空空導(dǎo)彈研究院;
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)電系統(tǒng) 微裝配 微夾持器 壓電陶瓷 柔性鉸鏈 非線性回歸
【基金】：國(guó)家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃)資助項(xiàng)目(2009AA04Z167) 遼寧省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(201102182)
【分類號(hào)】：TH-39;TG95
【正文快照】： 0引言在MEMS機(jī)構(gòu)微裝配系統(tǒng)中,微夾持器是實(shí)現(xiàn)亞毫米級(jí)微小構(gòu)件穩(wěn)定夾取及可靠釋放等操作的關(guān)鍵部件,對(duì)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的微裝配具有重要作用。目前已有學(xué)者進(jìn)行了微夾持器結(jié)構(gòu)與驅(qū)動(dòng)方法的研究。如:利用兩個(gè)壓電單晶片懸臂梁組成的微夾持器[1];基于電磁力驅(qū)動(dòng)的微夾持器[2];由SMA

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本文編號(hào)：989007