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171. 一種MEMS陀螺儀溫度漂移誤差補償方法
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172. 基于MEMS傳感器室內(nèi)導航的系統(tǒng)設(shè)計
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173. 基于真空電阻焊的MEMS器件級封裝研究
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174. 針對工藝偏差的MEMS器件結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化設(shè)計
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175. 面向MEMS紅外光源的輻射增強結(jié)構(gòu)設(shè)計
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176. 基于MEMS的電磁激勵諧振傳感器研究
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177. MEMS慣導系統(tǒng)的誤差自修正技術(shù)研究
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178. MEMS可重構(gòu)帶通濾波器設(shè)計
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179. 基于MEMS組件的行人導航系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究
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180. 基于電容式MEMS器件的靜電斥力驅(qū)動研究
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