發(fā)布時(shí)間：2020-05-29 14:25

【摘要】："粘連"失效常見于電容式靜電驅(qū)動(dòng)MEMS器件,通過建立"粘連"失效模型分析得出靜電引力驅(qū)動(dòng)機(jī)制導(dǎo)致的介質(zhì)充電是其失效的根本原因。為消除介質(zhì)充電問題,提出了一種新型的基于靜電斥力的驅(qū)動(dòng)機(jī)制:通過向固定極板施加電壓,利用驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)周圍形成的不均勻電場(chǎng)在可動(dòng)極板垂直方向上產(chǎn)生合力,使可動(dòng)極板向上彎曲運(yùn)動(dòng)。結(jié)合靜電斥力典型驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),通過COMSOL Multiphysics仿真分析結(jié)構(gòu)尺寸、驅(qū)動(dòng)電壓與極板最大形變量的關(guān)系。仿真結(jié)果表明:在靜電斥力結(jié)構(gòu)中,驅(qū)動(dòng)電壓與可動(dòng)極板長度呈線性關(guān)系,但與垂直間距呈非線性關(guān)系,會(huì)出現(xiàn)突降。此外,在結(jié)構(gòu)尺寸固定的情況下,驅(qū)動(dòng)電壓與極板最大形變量幾乎呈線性關(guān)系,這與靜電引力驅(qū)動(dòng)中無法通過改變驅(qū)動(dòng)電壓線性控制形變量不同。

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2687059