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電子能譜學(xué)第8講俄歇電子能譜的應(yīng)用 朱永法 清華大學(xué)化學(xué)系 2002.11.19 max.book118.com Port：20 User：lesson pass：lesson 俄歇電子能譜提供的信息 固體表面的能帶結(jié)構(gòu)、態(tài)密度 ，電子態(tài)； 表面的物理化學(xué)性質(zhì) 變化 元素組成，含量，化學(xué)價(jià)態(tài)，深度分布，微區(qū)分析等信息 表面吸附、脫附以及表面化學(xué)反應(yīng) ； 材料組分的確定，純度的檢測(cè)，材料特別是薄膜材料的生長(zhǎng) 等； 電子器件的失效分析，材料的腐蝕等； 俄歇電子能譜的應(yīng)用 表面清潔 表面吸附和反應(yīng) 表面擴(kuò)散 薄膜厚度 界面擴(kuò)散和結(jié)構(gòu) 表面偏析 摩擦潤(rùn)滑 失效分析 電子材料 核材料 催化劑 固體表面清潔程度的測(cè)定 在研究工作中，經(jīng)常需要獲得清潔的表面。 一般對(duì)于金屬樣品可以通過(guò)加熱氧化除去有機(jī)物污染，再通過(guò)真空熱退火除去氧化物而得到清潔表面。 最簡(jiǎn)單的方法則是離子槍濺射樣品表面來(lái)除去表面污染物。 樣品的表面清潔程度可以用俄歇電子能譜來(lái)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。 表面吸附和化學(xué)反應(yīng)的研究 由于俄歇電子能譜具有很高的表面靈敏度，可以檢測(cè)到10-3原子單層，因此可以很方便和有效地用來(lái)研究固體表面的化學(xué)吸附和化學(xué)反應(yīng)。 不僅可以分析吸附含量，，還可以研究吸附狀態(tài)以及化學(xué)反應(yīng)過(guò)程 表面吸附研究 表面吸附反應(yīng) 表面清潔度檢測(cè) 薄膜厚度測(cè)定 通過(guò)俄歇電子能譜的深度剖析，可以獲得多層膜的厚度。 由于濺射速率與材料的性質(zhì)有關(guān)，這種方法獲得的薄膜厚度一般是一種相對(duì)厚度。但在實(shí)際過(guò)程中，大部分物質(zhì)的濺射速率相差不大，或者通過(guò)基準(zhǔn)物質(zhì)的校準(zhǔn)，可以獲得薄膜層的厚度。 這種方法對(duì)于薄膜以及多層膜比較有效。對(duì)于厚度較厚的薄膜可以通過(guò)橫截面的線掃描或通過(guò)掃描電鏡測(cè)量獲得。 薄膜厚度的測(cè)定 TiO2薄膜

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