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電子能譜學(xué)第8講俄歇電子能譜的應(yīng)用 朱永法 清華大學(xué)化學(xué)系 2002.11.19 max.book118.com Port：20 User：lesson pass：lesson 俄歇電子能譜提供的信息 固體表面的能帶結(jié)構(gòu)、態(tài)密度 ，電子態(tài)； 表面的物理化學(xué)性質(zhì) 變化 元素組成，含量，化學(xué)價態(tài)，深度分布，微區(qū)分析等信息 表面吸附、脫附以及表面化學(xué)反應(yīng) ； 材料組分的確定，純度的檢測，材料特別是薄膜材料的生長 等； 電子器件的失效分析，材料的腐蝕等； 俄歇電子能譜的應(yīng)用 表面清潔 表面吸附和反應(yīng) 表面擴散 薄膜厚度 界面擴散和結(jié)構(gòu) 表面偏析 摩擦潤滑 失效分析 電子材料 核材料 催化劑 固體表面清潔程度的測定 在研究工作中，經(jīng)常需要獲得清潔的表面。 一般對于金屬樣品可以通過加熱氧化除去有機物污染，再通過真空熱退火除去氧化物而得到清潔表面。 最簡單的方法則是離子槍濺射樣品表面來除去表面污染物。 樣品的表面清潔程度可以用俄歇電子能譜來實時監(jiān)測。 表面吸附和化學(xué)反應(yīng)的研究 由于俄歇電子能譜具有很高的表面靈敏度，可以檢測到10-3原子單層，因此可以很方便和有效地用來研究固體表面的化學(xué)吸附和化學(xué)反應(yīng)。 不僅可以分析吸附含量，，還可以研究吸附狀態(tài)以及化學(xué)反應(yīng)過程 表面吸附研究 表面吸附反應(yīng) 表面清潔度檢測 薄膜厚度測定 通過俄歇電子能譜的深度剖析，可以獲得多層膜的厚度。 由于濺射速率與材料的性質(zhì)有關(guān)，這種方法獲得的薄膜厚度一般是一種相對厚度。但在實際過程中，大部分物質(zhì)的濺射速率相差不大，或者通過基準物質(zhì)的校準，可以獲得薄膜層的厚度。 這種方法對于薄膜以及多層膜比較有效。對于厚度較厚的薄膜可以通過橫截面的線掃描或通過掃描電鏡測量獲得。 薄膜厚度的測定 TiO2薄膜

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