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61. 太赫茲體硅MEMS多層波紋喇叭天線
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62. MEMS電熱驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與分析
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63. 真空封裝MEMS陀螺高溫老化失效機(jī)理研究
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64. 基于MEMS技術(shù)的三維無(wú)線運(yùn)動(dòng)控制研究
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65. MEMS器件工藝特性及其性能測(cè)試的研究
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66. 基于MEMS微型發(fā)動(dòng)機(jī)的裝藥選擇
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67. MEMS涂層接觸問(wèn)題的有限元分析
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68. 基于自適應(yīng)濾波的MEMS姿態(tài)確定方法
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69. MEMS陀螺旋轉(zhuǎn)導(dǎo)航誤差的分析與仿真
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70. W波段MEMS腔體濾波器
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