本文關(guān)鍵詞：W波段MEMS腔體濾波器

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【摘要】：文章提出了一種基于MEMS技術(shù)的新型W波段濾波器。該濾波器采用MEMS硅微加工技術(shù),在硅基上刻蝕形成四個水平互連的諧振腔。諧振腔之間引入直接耦合和交叉耦合,減小帶內(nèi)插損、提高帶外抑制。此外,輸入、輸出采用共面波導(dǎo)結(jié)構(gòu),能更方便的同其他器件相連。采用HFSS仿真軟件設(shè)計濾波器,仿真結(jié)果達到了預(yù)期的要求。
【作者單位】： 電子科技大學(xué)極高頻復(fù)雜系統(tǒng)國防重點學(xué)科實驗室;
【關(guān)鍵詞】： MEMS W波段 諧振腔 耦合
【基金】：國家自然科學(xué)基金(G0501020161371054)
【分類號】：TN713
【正文快照】： 引言1現(xiàn)代信息與通信的蓬勃發(fā)展,對通道的選擇性提出了更高要求,濾波器是微波和毫米波系統(tǒng)中重要的部件之一,影響著系統(tǒng)的性能。尤其是在頻譜資源日趨緊張的今天,開發(fā)高頻資源顯得尤為重要。高頻濾波器,尤其是毫米波濾波器正在成為研究的熱點。在毫米波頻段,傳統(tǒng)的波導(dǎo)和同軸

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本文編號：985555