本文關(guān)鍵詞：真空封裝MEMS陀螺高溫老化失效機(jī)理研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為了快速掌握真空封裝MEMS陀螺老化失效機(jī)理,陀螺進(jìn)行125℃高溫加速實(shí)驗(yàn),并對(duì)不同時(shí)間節(jié)點(diǎn)下的陀螺關(guān)鍵性能進(jìn)行參數(shù)提取。分析結(jié)果表明,由于高溫老化導(dǎo)致MEMS陀螺內(nèi)部材料放氣、疲勞和應(yīng)力釋放,從而改變品質(zhì)因子和初始檢測(cè)電容,最終導(dǎo)致陀螺的零偏、角隨機(jī)游走系數(shù)、零偏穩(wěn)定性、標(biāo)度因子等關(guān)鍵性能的嚴(yán)重退化。在工程實(shí)際中有一定的參考價(jià)值。
【作者單位】： 華南理工大學(xué)電子與信息學(xué)院;工業(yè)和信息化部電子第五研究所電子元器件可靠性物理及其應(yīng)用技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;北京大學(xué)微電子學(xué)研究院微米/納米加工技術(shù)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)械陀螺 老化 真空封裝 失效機(jī)理
【基金】：國(guó)家自然基金項(xiàng)目(61434003) 電子元器件可靠性物理及其應(yīng)用技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金項(xiàng)目(ZHD201207)
【分類號(hào)】：TN96;TH-39
【正文快照】： MEMS陀螺是基于柯氏效應(yīng)原理,在輸入角速度的作用下,使能量在驅(qū)動(dòng)模態(tài)和檢測(cè)模態(tài)間轉(zhuǎn)移的慣性器件[1]。MEMS陀螺具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、抗過載能力強(qiáng)、易于數(shù)字化和智能化等突出優(yōu)點(diǎn),因此被廣泛應(yīng)用于電子、汽車、航天等領(lǐng)域,同時(shí)在軍事領(lǐng)域中的應(yīng)用也開始逐步興起[2-3]

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本文編號(hào)：411927