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611. 基于MEMS傳感器的無線網(wǎng)絡地震傳感器的設計
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612. 基于MEMS的列車舒適度、平穩(wěn)性無線傳感器設計
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613. 基于MEMS的可重構天線及多頻天線的關鍵技術研究
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614. 一種基于MEMS的新型鏤空壓電懸臂梁能量采集器
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615. 可重構MEMS微波功率耦合器的設計及其可靠性研究
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616. 基于MEMS傳感器的挖掘機姿態(tài)檢測系統(tǒng)的研究
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617. 基于變面積電容傳感的大量程MEMS加速度計加工工藝研究
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618. PZT薄膜的溶膠凝膠法制備及在MEMS中的應用研究
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619. MEMS微半球諧振陀螺的力反饋模態(tài)及其FPGA平臺實現(xiàn)
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620. 基于MEMS濾波器芯片的X波段混頻通道設計
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