本文選題：MEMS微半球諧振陀螺 + 力反饋��； 參考：《儀表技術(shù)與傳感器》2017年06期

【摘要】：MEMS(micro-electro-mechanical system)微型陀螺儀具有體積小、質(zhì)量輕、功耗低、成本低等優(yōu)點(diǎn),MEMS微半球諧振陀螺是MEMS微陀螺領(lǐng)域的研究熱點(diǎn),文中分析了微半球諧振陀螺的工作原理以及檢測(cè)方法。針對(duì)MEMS微半球諧振陀螺高工作頻率,高品質(zhì)因數(shù)等特點(diǎn),提供了一種數(shù)字式力反饋模式下的MEMS微半球諧振陀螺數(shù)字式閉環(huán)控制檢測(cè)方案以及其FPGA平臺(tái)硬件實(shí)現(xiàn),完成目前MEMS微半球諧振陀螺的控制與檢測(cè)工作。
[Abstract]:MEMS(micro-electro-mechanical micro gyroscope has the advantages of small size, light weight, low power consumption and low cost. It is a hot research topic in the field of MEMS micro gyroscope. In this paper, the working principle and detection method of micro hemisphere resonant gyroscope are analyzed. Aiming at the high working frequency and high quality factor of MEMS microhemispherical resonator gyroscope, a digital closed-loop control detection scheme for MEMS microhemispherical resonator gyroscope in digital force feedback mode and its hardware implementation on FPGA platform are presented. The control and detection of MEMS micro-hemispherical resonator gyroscope are completed.
【作者單位】： 微米/納米加工國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室薄膜與微細(xì)技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室上海市北斗導(dǎo)航與位置服務(wù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室上海交通大學(xué)電子信息與電氣工程學(xué)院微納電子學(xué)系;
【分類號(hào)】：TN791;TN96

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1920752