發(fā)布時(shí)間：2018-03-20 17:33

  本文選題：能量采集器　切入點(diǎn)：矩形懸臂梁　出處：《微電子學(xué)》2016年03期 　論文類(lèi)型：期刊論文

【摘要】：在經(jīng)典的矩形懸臂梁結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn),設(shè)計(jì)了一種新型的基板與壓電膜鏤空的微懸臂梁能量采集器。在懸臂梁基板與壓電膜上添加鏤空,分析其結(jié)構(gòu)尺寸(即鏤空的長(zhǎng)度、寬度、厚度以及數(shù)量)與壓電振子固有頻率和開(kāi)路輸出電壓之間的關(guān)系,并通過(guò)調(diào)節(jié)其結(jié)構(gòu)尺寸,使壓電能量采集器具有更低的振動(dòng)頻率與更高的開(kāi)路輸出電壓。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在鏤空長(zhǎng)度為200μm,寬度為165μm,數(shù)量為12時(shí),該結(jié)構(gòu)振子的固有頻率可達(dá)到399.7Hz,開(kāi)路輸出電壓可達(dá)0.271V。
[Abstract]:On the basis of the classical rectangular cantilever beam structure, a new type of micro-cantilever beam energy collector with hollow substrate and piezoelectric film is designed. The hollow hole is added to the cantilever beam substrate and piezoelectric film, and the structural dimensions (i.e. the length of the hollowed-out) are analyzed. The relationship between the width, thickness, and number of piezoelectric oscillators and their natural frequencies and open circuit output voltages, and by adjusting their structural dimensions, The piezoelectric energy collector has lower vibration frequency and higher open circuit output voltage. The experimental results show that the natural frequency of the vibrator can reach 399.7 Hz and the open circuit output voltage can reach 0.271 V when the hollow-out length is 200 渭 m, the width is 165 渭 m and the number is 12:00.
【作者單位】： 重慶郵電大學(xué)光電工程學(xué)院;重慶平偉實(shí)業(yè)股份有限公司;
【基金】：重慶光電產(chǎn)業(yè)科技支撐示范工程項(xiàng)目(cstc2014zktjccxBX0065)
【分類(lèi)號(hào)】：TH703

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本文編號(hào)：1640103