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21. 氮氣對PECVD制備氮化硅薄膜結構與性質的影響
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22. 基于VxWorks嵌入式PECVD設備系統(tǒng)的設計與實現
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23. PECVD法生長石墨烯及其鎖模激光脈沖的產生
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24. 基于PECVD薄膜性能對高深寬比TSV工藝的研究
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25. 溫度與氣壓對脈沖PECVD沉積氧化鋁薄膜的影響
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26. 基于PECVD的TSV深孔絕緣層沉積工藝優(yōu)化
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27. 管式PECVD設備反應室結構的優(yōu)化設計與數值仿真研究
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28. 石墨烯薄膜的RF-PECVD法制備及其特性研究
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29. 不同工藝參數及噴淋板結構下PECVD熱流場分析
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30. PECVD法制備氫化納米晶硅薄膜及其晶化特性的研究
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