在有機(jī)基體表面等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD） Al₂O₃薄膜是提高其阻隔性能的有效方法,而高品質(zhì)的Al₂O₃薄膜是提高阻隔性的關(guān)鍵因素之一。脈沖射頻等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（RF-PECVD）可以實(shí)現(xiàn)比熱化學(xué)氣相沉積技術(shù)更寬的氣體工作壓力、更多的單體選擇和更好的薄膜性能,適合于制備高質(zhì)量的薄膜。本文報(bào)道采用脈沖RF-PECVD氧化鋁薄膜,且對(duì)影響薄膜結(jié)構(gòu)和性能的工藝參數(shù)進(jìn)行研究。通過(guò)橢圓偏振儀測(cè)量Al₂O₃的生長(zhǎng)速率和折射率;利用紅外光譜、掃描電鏡和原子力顯微鏡對(duì)沉積的Al₂O₃薄膜進(jìn)行成分、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和形貌分析、測(cè)量和表征;采用透濕儀測(cè)量在有機(jī)聚酯薄膜表面沉積Al₂O₃層的阻隔性能。結(jié)果表明:薄膜沉積過(guò)程中的工作氣壓和沉積溫度對(duì)脈沖RF-PECVD薄膜性能影響較大,在一定的沉積溫度范圍內(nèi),沉積的Al₂O₃薄膜為... 

【文章來(lái)源】：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào). 2020年07期 北大核心

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)設(shè)備和薄膜表征方法
2 結(jié)果與討論
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]聚乙烯表面涂覆法長(zhǎng)效親水改性[J]. 蔣傲男,楊彪.  應(yīng)用化工. 2019(02)

碩士論文
[1]氧化石墨烯表面改性聚乳酸薄膜的制備與性能研究[D]. 吳玲玲.浙江理工大學(xué) 2014



本文編號(hào)：2943865