在有機基體表面等離子體增強化學氣相沉積（PECVD） Al₂O₃薄膜是提高其阻隔性能的有效方法,而高品質的Al₂O₃薄膜是提高阻隔性的關鍵因素之一。脈沖射頻等離子體增強化學氣相沉積（RF-PECVD）可以實現比熱化學氣相沉積技術更寬的氣體工作壓力、更多的單體選擇和更好的薄膜性能,適合于制備高質量的薄膜。本文報道采用脈沖RF-PECVD氧化鋁薄膜,且對影響薄膜結構和性能的工藝參數進行研究。通過橢圓偏振儀測量Al₂O₃的生長速率和折射率;利用紅外光譜、掃描電鏡和原子力顯微鏡對沉積的Al₂O₃薄膜進行成分、結構、表面粗糙度和形貌分析、測量和表征;采用透濕儀測量在有機聚酯薄膜表面沉積Al₂O₃層的阻隔性能。結果表明:薄膜沉積過程中的工作氣壓和沉積溫度對脈沖RF-PECVD薄膜性能影響較大,在一定的沉積溫度范圍內,沉積的Al₂O₃薄膜為... 

【文章來源】：真空科學與技術學報. 2020年07期 北大核心

【文章頁數】：7 頁

【文章目錄】：
1 實驗設備和薄膜表征方法
2 結果與討論
3 結論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]聚乙烯表面涂覆法長效親水改性[J]. 蔣傲男,楊彪.  應用化工. 2019(02)

碩士論文
[1]氧化石墨烯表面改性聚乳酸薄膜的制備與性能研究[D]. 吳玲玲.浙江理工大學 2014



本文編號：2943865