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21. MEMS微型慣性測(cè)量組合的標(biāo)定

22. RF MEMS開(kāi)關(guān)機(jī)電性能研究

23. MEMS加工技術(shù)綜合性實(shí)驗(yàn)

24. 引信用MEMS慣性開(kāi)關(guān)技術(shù)研究

25. MEMS可制造性分析與研究

26. 用于MEMS器件的隔振平臺(tái)研究

27. 基于MEMS的快遞包裹狀態(tài)分析

28. 高頻壓電MEMS諧振器研究

29. MEMS+視覺(jué)車(chē)載定位定向系統(tǒng)研究

30. 基于MEMS工藝的安全起爆芯片