【摘要】：為了滿(mǎn)足微電子學(xué)以及儀器科學(xué)與技術(shù)等專(zhuān)業(yè)實(shí)踐教學(xué)與人才培養(yǎng)的需要,以MEMS加速度開(kāi)關(guān)為應(yīng)用對(duì)象,開(kāi)展MEMS加工技術(shù)綜合性實(shí)驗(yàn)研究。根據(jù)MEMS加速度開(kāi)關(guān)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn),設(shè)計(jì)加工工藝流程;以MEMS工藝?yán)碚撝R(shí)為基礎(chǔ),結(jié)合實(shí)踐教學(xué),開(kāi)展?jié)穹ǜg、陽(yáng)極鍵合、ICP刻蝕等關(guān)鍵加工工藝研究,完成MEMS加速度開(kāi)關(guān)原理樣品的研制。該實(shí)驗(yàn)從器件結(jié)構(gòu)、加工工藝到測(cè)試分析,簡(jiǎn)單直觀(guān),有利于學(xué)生全面掌握MEMS加工工藝,培養(yǎng)學(xué)生的科研興趣和實(shí)踐能力。
[Abstract]:In order to meet the needs of practical teaching and personnel training in microelectronics and instrument science and technology, a comprehensive experimental study on MEMS processing technology was carried out with MEMS acceleration switch as the application object. According to the structural characteristics of MEMS acceleration switch, the process flow is designed, and the key processing techniques, such as wet etching and anode bonding etching, are studied based on the theoretical knowledge of MEMS process and practical teaching. The development of MEMS acceleration switch principle sample is completed. The experiment is simple and intuitionistic from device structure, processing technology to test and analysis. It is helpful for students to master MEMS processing technology and cultivate students' interest in scientific research and practical ability.
【作者單位】： 重慶大學(xué)光電工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金專(zhuān)項(xiàng)基金科學(xué)儀器基金項(xiàng)目(61327002) 重慶大學(xué)教改項(xiàng)目(2015Y19)
【分類(lèi)號(hào)】：TH-39

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：2255664