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231. MEMS懸浮結(jié)構(gòu)深反應(yīng)離子刻蝕保護(hù)方法對(duì)比研究
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232. 激光點(diǎn)火系統(tǒng)用MEMS光開關(guān)研究與設(shè)計(jì)
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233. MEMS數(shù)字麥克風(fēng)信號(hào)處理電路的設(shè)計(jì)
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234. 基于MEMS技術(shù)的非接觸式人體靜電測(cè)量裝置
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235. 基于MEMS傳感融合技術(shù)的內(nèi)鏡跟蹤定位系統(tǒng)研究
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236. 集成高輻射率納米結(jié)構(gòu)的MEMS紅外光源研究
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237. 電容式MEMS環(huán)形振動(dòng)陀螺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及加工
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238. 精密單點(diǎn)定位與MEMS IMU組合導(dǎo)航系統(tǒng)應(yīng)用
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239. 帶邊緣場(chǎng)的分?jǐn)?shù)階MEMS方程的研究
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240. 基于MEMS慣性傳感器的井下人員定位系統(tǒng)
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