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221. MEMS慣性器件的主要失效模式和失效機理研究
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222. MEMS多層薄膜力學(xué)特性研究及測試結(jié)構(gòu)設(shè)計
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223. 基于MEMS-IMU尋北定向技術(shù)研究
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224. MEMS可調(diào)光衰減器的波長相關(guān)損耗優(yōu)化
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225. 基于MEMS機構(gòu)裝配的微夾持器研究
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226. MEMS數(shù)字傾角儀的標(biāo)定補償方法研究
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227. 多準(zhǔn)則MEMS陀螺隨機誤差在線建模與實時濾波
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228. MEMS傳感器三維引線鍵合系統(tǒng)研制
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229. MEMS懸浮結(jié)構(gòu)深反應(yīng)離子刻蝕保護方法對比研究
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230. 激光點火系統(tǒng)用MEMS光開關(guān)研究與設(shè)計
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