本文關(guān)鍵詞：MEMS慣性器件的主要失效模式和失效機(jī)理研究

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【摘要】：針對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的可靠性問(wèn)題,通過(guò)大量的歷史資料調(diào)研和失效信息收集等方法,針對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的可靠性問(wèn)題,對(duì)沖擊、振動(dòng)、濕度、溫變、輻照和靜電放電(ESD)等不同環(huán)境應(yīng)力條件下的MEMS慣性器件典型失效模式及失效機(jī)理進(jìn)行了深入分析和總結(jié),研究結(jié)果有利于指導(dǎo)未來(lái)MEMS慣性器件的失效分析和可靠性設(shè)計(jì)。
【作者單位】： 工業(yè)和信息化部電子第五研究所電子元器件可靠性物理及其應(yīng)用技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;廣東工業(yè)大學(xué)自動(dòng)化學(xué)院;華南理工大學(xué)電子與信息學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)慣性器件 可靠性 失效模式 失效機(jī)理
【分類(lèi)號(hào)】：TH-39
【正文快照】： 0引言微電子機(jī)械系統(tǒng)(micro-electro-mechanical systems,MEMS)是集成的微型系統(tǒng),它結(jié)合了電子、機(jī)械或其他(磁、液體和熱等)元件,通常采用傳統(tǒng)的半導(dǎo)體批量工藝技術(shù)來(lái)制造[1]。MEMS慣性器件是指敏感結(jié)構(gòu)采用微加工手段加工的微機(jī)械陀螺和微加速度計(jì),其中陀螺用于測(cè)量運(yùn)動(dòng)體的

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