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11. 光學(xué)石英玻璃CMP拋光液的研究

12. 氮化鎵晶片的CMP技術(shù)現(xiàn)狀與趨勢

13. 硅襯底CMP過程中拋光霧的控制

14. CMP中TEOS去除速率的一致性

15. CMP架構(gòu)下的共享Cache動態(tài)劃分

16. 相變存儲單元熱模擬及其CMP關(guān)鍵技術(shù)研究

17. Ru單原子電催化固氮

18. CMP拋光硬質(zhì)合金刀片的切削性能試驗研究

19. 對比不同特性藍(lán)寶石拋光液的CMP性能

20. HfO_x鑲嵌結(jié)構(gòu)的CMP及其機理研究