本文關(guān)鍵詞：對(duì)比不同特性藍(lán)寶石拋光液的CMP性能　出處：《微納電子技術(shù)》2016年11期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：比較了兩種不同特性藍(lán)寶石拋光液的化學(xué)機(jī)械平坦化(CMP)性能。在藍(lán)寶石CMP過程中,針對(duì)拋光液pH值、硅溶膠磨料粒徑以及拋光液中的化學(xué)添加劑(如螯合劑和表面活性劑)的作用進(jìn)行了研究,以比較材料去除速率和表面形貌。分析表明,pH值和磨料粒徑是影響藍(lán)寶石材料去除率的主要因素,螯合劑和表面活性劑分別有助于提高藍(lán)寶石的去除速率和降低表面粗糙度。研究結(jié)果表明,低pH值、小磨料粒徑和以化學(xué)作用為主的藍(lán)寶石拋光液具有良好的CMP性能。
【作者單位】： 河北工業(yè)大學(xué)電子信息工程學(xué)院;天津市電子材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;華北理工大學(xué);河北工業(yè)大學(xué)計(jì)算機(jī)科學(xué)與軟件學(xué)院;
【基金】：國家中長期科技發(fā)展規(guī)劃02科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(2009ZX02308-003;2014ZX02301003-007) 河北省青年自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(F2015202267) 河北省自然科學(xué)重點(diǎn)資助項(xiàng)目(ZD2016123) 天津市自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(16JCYBJC16100)
【分類號(hào)】：TN305.2
【正文快照】： 0引言藍(lán)寶石是一種單晶形式的α-Al2O3(剛玉),具有許多特殊的性質(zhì),如硬度高、熱穩(wěn)定性好、化學(xué)惰性強(qiáng)以及良好的透光性[1-2]。它是一種重要的陶瓷材料,廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子以及溫度傳感器等領(lǐng)域。對(duì)于這些應(yīng)用,藍(lán)寶石襯底的表面形貌是影響其性能的一個(gè)重要指標(biāo)。在藍(lán)寶石加工

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