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141. MEMS射頻同軸線的仿真與工藝研究
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142. MEMS角振動陀螺的結(jié)構(gòu)建模與仿真分析
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143. MEMS壓阻式壓力傳感器技術(shù)研究
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144. 用于三維成像激光雷達(dá)的MEMS掃描鏡研究
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145. 微熱板氣體傳感器的MEMS工藝研究
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146. 基于智能手機(jī)MEMS的行人定位方法實(shí)證研究
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147. 電熱式MEMS微鏡驅(qū)動控制技術(shù)研究
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148. 基于MEMS陀螺儀姿態(tài)檢測系統(tǒng)研制
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149. MEMS陀螺儀隨機(jī)序列趨勢項(xiàng)提取算法
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150. 一種MEMS壓電大位移驅(qū)動器設(shè)計(jì)分析
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