本文關(guān)鍵詞：MEMS射頻同軸線的仿真與工藝研究

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【摘要】：以SU-8方形柱作為支撐襯底,初步設(shè)計(jì)中心頻率為38GHz空氣填充的微型矩形同軸線,通過HFSS電磁仿真軟件對設(shè)計(jì)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行模擬仿真與優(yōu)化,并結(jié)合實(shí)際加工工藝和測試條件,最終確定中心同軸的橫截面為200μm×200μm,外壁內(nèi)表面的橫截面為500μm×500μm,對支撐襯底尺寸進(jìn)行最優(yōu)化模擬仿真,確定SU-8矩形支撐襯底寬度為200μm.采用SU-8紫外光刻工藝并結(jié)合銅的電鍍工藝進(jìn)行微型同軸線結(jié)構(gòu)的加工.利用微波探針測試臺對其傳輸性能進(jìn)行測試,測試結(jié)果顯示該微型同軸線在中心頻率處回波損耗S11在-30dB以下,插入損耗S12參數(shù)為-0.3dB.該工藝方法加工的同軸傳輸線具有帶寬大、介質(zhì)損耗小、輻射損耗小和抗干擾強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn),可用于高性能射頻和微波電路.另外,它的制作工藝可與其他射頻和微波器件及集成電路工藝兼容,便于與射頻和微波電路集成.
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 同軸傳輸線 光刻 電鍍 SU- RF MEMS
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61401405);國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51475438) 山西省基礎(chǔ)研究項(xiàng)目(2014011021-4) 新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃資助項(xiàng)目(130951862)
【分類號】：TN813
【正文快照】： 0引言隨著射頻(RF)、微波技術(shù)的迅速發(fā)展,國際上諸多知名科研機(jī)構(gòu)和高校都將RF MEMS視為重點(diǎn)研究方向.RF MEMS技術(shù)中多采用的是平面電路技術(shù),其中的射頻、微波信號傳輸及器件互聯(lián)多采用微帶、共面波導(dǎo)、帶狀線等平面?zhèn)鬏斁�[1],當(dāng)集成度較高時(shí),這些傳輸、互聯(lián)技術(shù)就暴露出諸多

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本文編號：895076