本文關(guān)鍵詞：一種MEMS壓電大位移驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì)分析

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【摘要】：以壓電雙晶片為研究對(duì)象,設(shè)計(jì)出了4種結(jié)構(gòu)形式的位移驅(qū)動(dòng)器,并對(duì)設(shè)計(jì)的4種位移驅(qū)動(dòng)器進(jìn)行了性能分析,發(fā)現(xiàn)壓電雙晶梁的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,但輸出位移最大;對(duì)簡(jiǎn)單壓電雙晶梁進(jìn)行了研究,分析了各因素對(duì)輸出位移的影響,最終確定了合理的結(jié)構(gòu)尺寸和彈性墊片的選用材料。設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單壓電雙晶梁輸出位移達(dá)到223μm,滿足至少200μm的輸出位移要求,為驅(qū)動(dòng)某引信安全系統(tǒng)中的扁平MEMS結(jié)構(gòu)提供了一種簡(jiǎn)便可行的方案。
【作者單位】： 金陵科技學(xué)院智能科學(xué)與控制工程學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助(51505204) 金陵科技學(xué)院高層次人才科研啟動(dòng)基金(jit-b-201503)
【分類號(hào)】：TH-39
【正文快照】： 微機(jī)電系統(tǒng)(Micro electro-mechanical systems,MEMS)是指可批量制作的,集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器、信號(hào)處理和控制電路,直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。微驅(qū)動(dòng)器既可構(gòu)成MEMS的動(dòng)力部分,亦可成為微機(jī)械的操作或執(zhí)行機(jī)構(gòu),其動(dòng)作范圍的大小、動(dòng)作效

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