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141. MEMS壓阻式壓力傳感器技術(shù)研究
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142. 用于三維成像激光雷達(dá)的MEMS掃描鏡研究
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143. 微熱板氣體傳感器的MEMS工藝研究
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144. 基于智能手機(jī)MEMS的行人定位方法實(shí)證研究
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145. 電熱式MEMS微鏡驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)研究
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146. 基于MEMS陀螺儀姿態(tài)檢測(cè)系統(tǒng)研制
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147. MEMS陀螺儀隨機(jī)序列趨勢(shì)項(xiàng)提取算法
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148. 一種MEMS壓電大位移驅(qū)動(dòng)器設(shè)計(jì)分析
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149. 基于MEMS技術(shù)的井下工具姿態(tài)測(cè)量與校正
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150. 近紅外MEMS閃耀光柵的設(shè)計(jì)與制作
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