本文關(guān)鍵詞：近紅外MEMS閃耀光柵的設(shè)計(jì)與制作　出處：《西南大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)》2017年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：利用硅的各向異性濕法腐蝕性質(zhì),在偏晶向(111)硅基底材料上,設(shè)計(jì)并制作了閃耀角為8°、周期為4μm的近紅外閃耀光柵.設(shè)計(jì)時(shí)考慮了光柵頂部平臺(tái)對(duì)光柵衍射效率的影響,修正了光柵的閃耀角.制作時(shí)利用一次性氧化削尖的方法,減少光柵頂部平臺(tái)的寬度,以提高光柵的衍射效率.利用掃描電子顯微鏡(SEM)進(jìn)行光柵形貌測(cè)試,結(jié)果表明:制作的光柵具有平滑的光學(xué)表面和良好的光柵槽形.對(duì)光柵進(jìn)行衍射效率測(cè)量,當(dāng)入射波長(zhǎng)為1 392nm時(shí),衍射效率能達(dá)到70%以上,表明光柵具有很高的衍射效率,能滿足微型近紅外光譜儀的使用要求.
[Abstract]:Using anisotropic wet etching properties of silicon in partial crystal orientation (111) silicon materials, design and production of the blazed angle is 8 degrees, cycle for near infrared blazed grating is 4 m. The design is considered the top platform of grating diffraction efficiency of grating, the grating blazed angle correction method of disposable. Making use of oxidation sharpening, reduce the width of the platform at the top of the grating, in order to improve the diffraction efficiency of the grating. By using scanning electron microscopy (SEM) morphology of grating testing, results show that the fiber grating has a smooth surface and good optical grating groove. By measuring the diffraction efficiency of grating, when the incident wavelength is 1 392nm, the diffraction efficiency can reach more than 70%, shows that the grating with high diffraction efficiency, can satisfy the use of miniature near-infrared spectrometer requirements.

【作者單位】： 西南大學(xué)電子信息工程學(xué)院;重慶大學(xué)微系統(tǒng)研究中心;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61327002) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資助項(xiàng)目(XDJK2012C047)
【分類號(hào)】：TN25
【正文快照】： 近紅外光譜分析技術(shù)在現(xiàn)代農(nóng)牧業(yè)、食品安全、生物醫(yī)藥、石油化工、環(huán)境監(jiān)測(cè)、航空航天等領(lǐng)域都有非常重要而廣泛的應(yīng)用[1-5].作為近紅外光譜分析檢測(cè)儀器的微型近紅外光譜儀,本身具有體積小、質(zhì)量輕、探測(cè)速度快、性能穩(wěn)定、可集成化、可批量化制造以及成本低廉等優(yōu)點(diǎn),與傳統(tǒng)

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本文編號(hào)：1371354