金屬微納結構當前已在光子學、電子學、生物醫(yī)學等很多重要學科領域有著廣泛應用。目前大多數(shù)微納加工技術制備的金屬微納結構通常是直接附著在使用的基底表面。對于一些電介質(zhì)基底如玻璃、晶體等,由于上述沉積的金屬和電介質(zhì)的本征結合力較弱,很大程度上會影響到制備器件長期工作的穩(wěn)定性和可靠性。而通過在基底表面制備溝槽并結合后續(xù)的選擇性金屬沉積方法制備出嵌入式金屬微納結構是一種提高金屬-電介質(zhì)基底結合力的途徑。譬如,利用飛秒激光微加工并與化學金屬鍍結合可實現(xiàn)絕緣體表面嵌入式金屬微結構的制備。但需指出的是,電介質(zhì)表面嵌入式亞微米線金屬結構和面向電光集成的嵌入式豎直側壁微電極的制備目前還沒有報道。針對上述問題,本論文利用飛秒激光微納加工技術并結合新型的化學鍍技術開展了嵌入式金屬微納結構的制備研究。論文主要取得了以下研究成果:(1)提出了一種利用飛秒激光燒蝕的閾值效應和連續(xù)流化學鍍相結合在石英玻璃表面制備嵌入式亞微米金屬線的技術。首先通過飛秒激光直寫在玻璃表面利用閾值效應燒蝕出亞微米線寬的凹槽,然后用連續(xù)流化學鍍在樣品表面沉積金屬薄膜,再經(jīng)過熱處理和機械拋光,可實現(xiàn)玻璃表面嵌入式高電導率亞微米金屬結構(最小線寬...

【文章頁數(shù)】：77 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖１?（ａ）基于多光子吸收的突破衍射極限加工示意圖；??（ｂ）透明材料通過雙?

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圖３飛秒激光燒蝕切割ＳＥＭ圖像Ｍ??

?華東師范大學碩士學位論文???—，顧??■ａａｒｏｒｉｉｎ—ＫｔｉｉＥｇ—??圖２不同參數(shù)激光脈沖的燒蝕孔ＳＥＭ圖像％??（ａ）脈沖寬度：２００?ｆｓ，脈沖能量：１２０?ｍｊ，能量密度：０．５?Ｊｅｍ＇波長：７８０?ｍｎ；??（ｂ）脈沖寬度：３．３?ｎｓ，脈沖能量：ｌｍＪ，能量....

圖２不同參數(shù)激光脈沖的燒蝕孔ＳＥＭ圖像％??

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圖４直接墨水書寫［５１］??

?華東師范大學碩士學位論文???闕＿爹國｜｜??，ｎ?Ｉ?—?、—??圖４直接墨水書寫［５１］??（ａ）原理示意圖：從玻璃微量移液器中擠出銀納米顆粒墨水；（ｂ）顆粒濃度對油墨的粘彈性和剪切稀化??性能的影響；（ｃ）使用逐層打印制備的３Ｄ銀結構的ＳＥＭ圖像；（ｄ）實際的制備過程；（....

本文編號：4020288