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基于多步光刻工藝的靜態(tài)退相干薄膜及其散斑抑制應(yīng)用研究

發(fā)布時間:2021-07-06 16:13
  激光顯示作為繼CRT、LCD、LED之后的第四代顯示技術(shù),具有亮度高、色域廣、壽命長、能耗低等優(yōu)點(diǎn)。由于激光的高相干性,當(dāng)激光入射到粗糙物體表面時,激光發(fā)生散射和干涉并產(chǎn)生顆粒狀明暗斑點(diǎn),我們稱之為散斑。散斑現(xiàn)象嚴(yán)重影響投影圖片的質(zhì)量,必須被抑制。目前激光顯示領(lǐng)域主要的散斑抑制方法包括振動散射片、掃描微鏡、振動屏幕等方法來實(shí)現(xiàn)散斑的抑制。該類方法是在人眼的積分時間內(nèi)通過疊加多幅彼此獨(dú)立的散斑圖案實(shí)現(xiàn)散斑的抑制,具有很好的散斑抑制效果。但是由于系統(tǒng)中引入馬達(dá)等動態(tài)機(jī)械元件,增加系統(tǒng)體積同時降低了光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性,并且會產(chǎn)生額外的噪聲污染。本論文研究了一種基于破壞激光時間及空間相干性的靜態(tài)散斑抑制方法,設(shè)計并基于多步光刻工藝加工了一種具有3D微光學(xué)結(jié)構(gòu)的器件,其可以作為一種靜態(tài)的退相干薄膜(Decoherence Thin Film,DTF)。DTF可以對激光進(jìn)行光程調(diào)制,降低激光的時間相干性進(jìn)而破壞了激光的空間相干性,實(shí)現(xiàn)了散斑的抑制。將DTF與散射片配合應(yīng)用于激光顯示領(lǐng)域,可以實(shí)現(xiàn)無需外部供電、散斑抑制效率高的目的。DTF同樣也可以應(yīng)用于全息成像、激光照明等領(lǐng)域。本文的主要內(nèi)容包括以下... 

【文章來源】:山西大學(xué)山西省

【文章頁數(shù)】:50 頁

【學(xué)位級別】:碩士

【部分圖文】:

基于多步光刻工藝的靜態(tài)退相干薄膜及其散斑抑制應(yīng)用研究


圖1.1?(a)三菱公司首款支持3D立體技術(shù)的75寸激光背投電視;(b)NEC公司首款4K三基??色激光數(shù)字電影放映機(jī)NC3540LS-1+??

故宮,激光,技術(shù),電影


?基^歩光爾工g的靜_相干薄膜及其擊斑抑il_B趼究?^??制出了第一合支持3D立體技術(shù)的75寸激光背投電視機(jī),如圖1.1(a)所示。2016年??日本NEC公謂在第二十五屆北京國際廣播電影電視展覽會上推出了首款4K三色激??光數(shù)宇電影放映機(jī)NC3540LS-1+,該型電影投影機(jī)光源的使用壽命長達(dá)3萬小時,??如圖'1.1(b)所示。??圖1.1?(a)三菱公司首款支持3D立體技術(shù)的75寸激光背投電視;(b)NEC公司首款4K三基??色激光數(shù)字電影放映機(jī)NC3540LS-1+??我國激光顯示技術(shù)的研究始子上世紀(jì)80年代,菌家863計劃首次將“激光全M??承”列入研究課題。在《國家十二五發(fā)展規(guī)劃》中提到:要實(shí)現(xiàn)低成本、系統(tǒng)可靠性??高、光源壽命長的激光顯東技術(shù)%?2010年中視中科在北京國際廣播電視電影設(shè)備??展覽會上發(fā)布了全球首臺采用紅、綠、藍(lán)三基色激光作為光源的3D電影放映機(jī)。??2014年中視迪威公司發(fā)布的SL-2KC20C/SL-2KC40B兩個型號電影放映機(jī)通過了??DCI檢測,這也是我國縛產(chǎn)激光投影放映設(shè)備第一次通過DCI測試。2019年故宮博??物院舉辦“紫禁城上元之夜”,光峰科技公司采用ALPD激光技術(shù)以故宮孫墻為幕亦??進(jìn)佇了投影顯示,如圖1.2所示。圖1.3為三墓色激光投影結(jié)構(gòu)原理圖。??圖1.2光峰科技在故宮采用ALPD技術(shù)進(jìn)行激光投影展示??2??

激光,投影系統(tǒng),三基色,優(yōu)越性


?第一章引言???光源模塊?消相干模塊?信號調(diào)制模塊?投影成像模塊??HR?????1?網(wǎng)?W????%)tupL?_擴(kuò)束、句嘗-光??影I??消相干?光?透*????域?鏡??藍(lán)光光域??.i^^-DPL?擴(kuò)束、句場?7//^??,nl7tUJ??消相干?^M2??圖1.3三基色激光投影系統(tǒng)結(jié)構(gòu)原理圖??我們將從以下三個方面介紹激光顯示的技術(shù)優(yōu)越性:??1.應(yīng)用場景多樣化??(1)激光顯示技術(shù)亮度高?,激光顯示技術(shù)在實(shí)現(xiàn)更小的設(shè)備體積的同時還可??以提供數(shù)千乃至幾萬流明的顯錄亮度,因此激光顯示可以應(yīng)甩于會議室:、電影院、戶??外投影等所需疊度不兩的場景;??(2)激光顯示技術(shù)光利用率裔,在頭戴顯示設(shè)備中,設(shè)備的光源與顯示裝置之??間需要光纖等裝置進(jìn)行導(dǎo)光。當(dāng)頭戴M示設(shè)備采用激光作為光源的時,由于激光的發(fā)??散角孝方向性好,激光在光纖內(nèi)傳播過程中損耗更低,光的利用率得以提禽《??2.對環(huán)境友好??(1)更長的使用壽命,普通投影儀中的汞燈或氙燈光源的壽命都在數(shù)千小時,??而汞燈在生產(chǎn)過程中及廢棄回收時會對環(huán)境造成一定的污染。激光光源的壽命都在??上萬小時,而且激光光源的生產(chǎn)不會產(chǎn)生對環(huán)境有害的物質(zhì)。因此,從長遠(yuǎn)來看,激??光光源對環(huán)境更為友好;??(2)更低的能耗,用于激光顯示的紅色、綠色、藍(lán)色三碁色激光的光譜皆是在??可見光范圍內(nèi),而氙燈光源的光譜只有30%^可見光范畫內(nèi)m。對于人眼而言,用于??激發(fā)另外70%不可見光的能量就浪費(fèi)了。傳統(tǒng)的光源的光電轉(zhuǎn)換效率在3%左右,而??激光的光電轉(zhuǎn)換效率高達(dá)10%。由此可見,激光顯示相對于傳統(tǒng)顯示具有更為優(yōu)異??的低能耗

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
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博士論文
[1]激光投影系統(tǒng)中典型非成像光路器件對散斑的影響[D]. 趙鵬飛.中北大學(xué) 2016

碩士論文
[1]基于紫外光刻方法構(gòu)建超疏水微納結(jié)構(gòu)及導(dǎo)電圖案[D]. 張放.北京化工大學(xué) 2015



本文編號:3268557

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