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71. MEMS器件工藝特性及其性能測(cè)試的研究
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72. 基于MEMS微型發(fā)動(dòng)機(jī)的裝藥選擇
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73. MEMS涂層接觸問(wèn)題的有限元分析
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74. 基于自適應(yīng)濾波的MEMS姿態(tài)確定方法
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75. MEMS陀螺旋轉(zhuǎn)導(dǎo)航誤差的分析與仿真
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76. W波段MEMS腔體濾波器
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77. MEMS器件分層失效的強(qiáng)化試驗(yàn)技術(shù)研究
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78. 差分型MEMS矢量水聽(tīng)器的研制
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79. MEMS加速度計(jì)開(kāi)環(huán)檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)
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80. MEMS微摩擦磨損儀器的研究進(jìn)展
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