本文關(guān)鍵詞：MEMS微摩擦磨損儀器的研究進(jìn)展

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【摘要】：相對于傳統(tǒng)機(jī)械而言,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的摩擦磨損問題顯得更加突出,對MEMS的摩擦磨損進(jìn)行研究,并提供有效的潤滑手段是保證其設(shè)備功能和使用壽命的關(guān)鍵。針對開展MEMS微觀摩擦磨損研究的需要,概述了常用的微觀摩擦磨損測試儀器,包括掃描隧道顯微鏡(STM)、原子力顯微鏡(AFM)、摩擦力顯微鏡(FFM)等探針類實(shí)驗(yàn)裝置以及球-盤式、銷-盤式、針-盤式和微軸承式摩擦副的微摩擦磨損實(shí)驗(yàn)裝置,著重介紹了它們的工作原理和適用對象。并根據(jù)MEMS技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀,對微觀摩擦磨損實(shí)驗(yàn)儀器的發(fā)展趨勢進(jìn)行了展望。
【作者單位】： 中國礦業(yè)大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院;
【基金】：江蘇省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(BK20131114) 江蘇省大學(xué)生實(shí)踐創(chuàng)新訓(xùn)練計(jì)劃資助項(xiàng)目(201510290020Y) 中國礦業(yè)大學(xué)大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基金立項(xiàng)大學(xué)生創(chuàng)新項(xiàng)目(201511)
【分類號】：TH87;TH-39
【正文快照】： 0引言為了滿足現(xiàn)代生產(chǎn)和生活的需要,早在20世紀(jì)70年代科研人員在進(jìn)行機(jī)械設(shè)備小型化、微型化的研究過程中開始微機(jī)械的研發(fā),逐漸形成了微電子機(jī)械系統(tǒng)(micro electro-mechanical system,MEMS)的概念,它是將微傳感器、微型構(gòu)件、微執(zhí)行器、接口電路以及驅(qū)動(dòng)和控制電路等通過特，

本文編號：1235878