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661. 轉(zhuǎn)移石墨烯內(nèi)部缺陷及其MEMS壓阻式微壓傳感器研究
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662. 嵌套環(huán)式MEMS陀螺剛度軸偏角誤差和電極未對(duì)準(zhǔn)誤差辨識(shí)
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663. 一種面向MEMS矢量水聽器的硅納米線制備方法
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664. 基于“Top-Down”的MEMS集成設(shè)計(jì)方法及關(guān)鍵技術(shù)研究
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665. 利用相移顯微干涉術(shù)和頻閃成像技術(shù)研究MEMS離面運(yùn)動(dòng)
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666. 基于RF MEMS開關(guān)的4位分布式移相器的設(shè)計(jì)
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667. 基于MEMS微鏡的長波近紅外光譜儀的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)
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668. 基于MEMS線陣的便攜式中紅外水中油濃度速測儀
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669. 基于MEMS陀螺儀和加速度計(jì)的機(jī)器人定位系統(tǒng)研究
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670. 混合式MEMS超級(jí)電容器的動(dòng)力學(xué)建模與仿真方法
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